空气过滤器的原形是大家为维护吸气而应用的吸气维护用具。据记述早在一新世纪的罗马帝国大家在纯化液态水银的时候就用粗麻做成的面罩终止维护。优效性的悠长時间里空气过滤器也得到了间断但其主要是做为吸气维护用具用以一些风险性的领域如有危害化工品的消費。1827年布郎发觉了细微粒子的运动规律大家对空气净化的原理拥有进一步的了解。电磁阀脉冲膜片的急速进行是与国防工业生产和电子工业的进行严实相关的。在第 一次世 界大战期内因为各种各样有机化学毒剂的应用以玻璃纤维棉过滤纸做为滤烟层的军工用防毒面罩应时而生。玻璃纤维过虑双脉冲电磁阀用以空气净化于1940年10月在国外得到专利权。50时代英国对玻璃纤维过滤纸的消費加工工艺终止了推进的讨论使空气过滤器获得了改进和进行。60时代HEPA过滤装置面世；70时代选用细微玻璃纤维过滤纸做为过虑物质的HEPA过滤装置对013μm粒度的粒子过滤效率达到99.9998%。